Eos系统

EOS：从操作系统到电子光学系统，探索智能机器人与芯片制造的未来

二、EOS：智能机器人操作系统

1. EOS的背景

EOS（Embodied Operating System）是由中国信通院、北京邮电大学、清华大学联合推出的面向智能机器人的具身智能操作系统。该系统区别于传统机器人框架ROS，设计覆盖了从操作系统内核到中间件及智能算法库的全面范畴，支持实时内核，强化了对国产芯片的适配与自主可控。

2. EOS的特点

（1）实时内核：EOS支持实时内核，确保机器人执行任务的安全性和可靠性。

（2）低门槛：EOS为开发者提供了低门槛的具身智能应用开发环境，简化流程，丰富中间件资源。

（3）AI原生：EOS带来了AI原生的人机交互体验，融合语音识别、自然语言处理、视觉感知等技术。

3. EOS的应用

EOS的推出不仅推动了具身智能机器人领域的发展，也为未来人形机器人在家政、养老、教育、医疗等领域的广泛应用奠定了基础。

三、EOS：芯片制造电子光学系统

1. EOS的背景

电子束量测检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一。其最为核心的模块为电子光学系统（Electron Optical System，简称EOS），决定设备的成像精度和质量。

2. 东方晶源新一代EOS

东方晶源作为电子束量测检测领域的先行者、领跑者，自主研发的新一代EOS三箭齐发”，成功搭载到旗下电子束缺陷复检设备（DR-SEM）、关键尺寸量测设备（CD-SEM）、电子束缺陷检测设备（EBI），助力产品性能实现进一步攀升。

3. 新一代EOS的特点

（1）高精度：新一代EOS采用适配自研多通道高速探测器、支持多信号类型分析检测的电子光学设计方案。

（2）多场景：新一代EOS适用于多种场景，如形貌分析、成分分析等。

EOS作为智能机器人操作系统和芯片制造电子光学系统，在各自领域都取得了显著的成果。随着技术的不断进步，EOS有望在未来发挥更大的作用，推动智能机器人和芯片制造领域的发展。